CX系列射频电源是一款应用在半导体范畴的高频功率放大器，他是一款等离子体发生器.其基本功用为半导体的等离来自刻蚀,PECVD,PVD,溅射镀膜等供给高频等离子体鼓励.

  射频电源由5部分所组成:最重要的包括一个直流供电电源模块,震动电路模块,功率放大模块,射频功率检测模块,射频互锁操控模块等部分组成.

  (1) 直流电源模块是为电源内部操控线) 震动电路模块为晶体震动部分，发生13.56MHZ的正弦波信号.

  (3) 功率放大模块是几个固态晶体管组成,最大的意图是把高频信号,进行功率放大,使得输出功

  (4) 射频功率检测模块:主要为检测操控电路,经过高频丈量电感检测入射功率,反射功率,把

  (5) 射频互锁操控模块:主要为开关信号形式,可供给安全互锁功用.比方射频输出线互锁,高

  射频电源发生等离子体的原理:在一个密闭的真空能接受压力的容器内.,使用真空泵取得必定的真空度,射频被馈入到真空室内的两个极板之间.在两个极板之间发生一个交变电场,气体在电场下被电离,发生相对应的离子,带电离子被加快不断磕碰气体分子,发生级联效应,这样就发生了辉光,由此发生等离子体.